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CoventorWare
CoventorWare是一个传统多物理场有限元仿真的工具。CoventorWare包括CoventorWare Turbo模块和MEMS Extended Analysis功能增强模块。CoventorWare Turbo模块由两个套件组成:Designer和Analyzer。Designer是创建MEMS器件工艺流程、MEMS器件版图、三维实体模型以及三维网格划分的强大设计工具,包含材料属性编辑器、工艺制程编辑器、二维版图编辑器、三维实体模型生成器、三维模型处理器和网格划分引擎、封装库、Foundry设计套件库等。
MEMS+
MEMS+是一个针对MEMS及MEMS+IC设计、仿真、产品开发为一体的集成平台。MEMS设计者可以轻易的将MEMS+行为模型交接给系统设计者或者IC设计者,从而帮助他们完成系统级的设计或者implementation-level的仿真。
IntellSuite
IntellSuite软件能够进行微结构的三维建模、版图设计、工艺过程模拟、干法湿法刻蚀模拟、原子级别腐蚀模拟、利用有限元、边界元等方法对微结构进行多物理量场耦合分析,以及MEMS-IC的系统级分析仿真,为MEMS器件设计提供完整的解决方案。
IP服务云
平台拥有数量可观的IP服务包,包括集成电路、MEMS特色流程、特殊工艺等多种类型,为设计者提供选择性服务。
用户也可向平台申请新IP包定制化开发服务,平台自身拥有强大的设计研发能力。
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MEMS+为工程师提供集成环境进行 MEMS 器件与系统及电路的协同设计。对于依赖静电学进行感应及驱动的 MEMS 器件,MEMS+是一个理想的设计优化工具。MEMS+也支持压电式传感器和执行器。
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